表面 | 磨料/尺寸 | 负载-磅[N] /样本 | 基本速度[rpm] | 相对旋转 | 时间[分钟:秒] |
---|---|---|---|---|---|
切割 | 微电子装置建议使用带刀片的精密切割机 | ||||
镶嵌 | 冷镶嵌料,通常为EpoThin 2环氧树脂 | ||||
CarbiMet砂纸 | 320 [P400] 水冷式金刚砂 | 3 [13] | 150 | 击中目标边缘 | |
TexMet P | 9 µm MetaDi Supreme 金刚石抛光液 | 5 [22] | 150 | 5:00 | |
VerduTex | 3 µm MetaDi Supreme 金刚石抛光液 | 5 [22] | 150 | 3:00 | |
VerduTex | 1 µm MetaDi Supreme 金刚石抛光液 | 5 [22] | 150 | 3:00 | |
ChemoMet | 0.05 µm MasterPrep 氧化铝抛光液 | 3 [13] | 150 | 1:30 |